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TEM分析
    发布时间: 2022-07-13 18:51    
TEM分析

透射电镜的工作原理:

透射电镜以电子为照明束,由电子枪发射出来的电子,在阳极加快电压效果下,通过聚光镜,集聚为电子束照明样品,穿过样品的电子携带了样品自身的结构信息,经物镜,中心镜和投影镜聚集扩大,最终以图画或衍射谱的方式显于荧光屏上,其详细实物图片如下图所示,可见其结构之杂乱。


透射电镜的结构组成:

其首要由光学成像体系、真空体系以及电气体系三部分组成,光学成像体系包括发生电子束的电子枪以及使得电子束会聚的扩大体系,成像扩大体系首要由物镜、中心镜以及投影镜所组成,三者间隔所调查物质的间隔越来越远,起到逐级扩大功用,三者之中,物镜的分辨率关于整个成像体系的分辨率影响最大。

与X射线比较,电子束具有波长更短、简单遭到物质散射等优势,较短的波长构成其布拉格角度十分小,入射线与散射线根本处于同一水平线上,一起使得单晶的电子衍射谱与晶体倒易点阵的二维界面十分类似,这为其发生衍射像提供根据;而正是由于其易于遭到物质散射的特色,导致电子束穿透才能很弱,只能用于外表剖析,正因与此,扫描电镜的样品在调查之前要进行好几步减薄处理。

基板衍射和高分辨