扫描电子显微镜(SEM)利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm;放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调;并且景深大, 视野大, 成像立体效果好。

1、品牌型号 : JEOL JSM-6510

     电子枪：钨灯丝直热式发射电子枪

     聚光镜：电磁变焦聚光镜

     物镜：锥形小物镜

     分辨率：3.0nm(二次电子成像，工作电压30kV，工作距离8mm)

                  8.0nm(工作电压3kV，工作距离6mm)

                  15.0nm(工作电压1kV，工作距离6mm)

     工作模式：二次电子成像模式                 背散射电子成像模式

     真空度：10 to 270Pa，高、低真空切换

     加速电压：0.3kV to 30kV（55 steps）

                     0.3kV to 3kV：100V steps

                     3kV to 30 kV：1kV steps

     放大倍数：×50 to 300000 (149steps)

     样品台：全对中样品台

                  X: 80mm

                  Y: 40mm

                  Z：5mm-48mm

                  T:-10° to 90°

                  R: 360°       扫描方式：全扫描（640×480像素）

     数字图像：640×480

     像素：1280 x 960

               2560 x 1920

     排气系统（高真空模式）：DP×1，RP×1

     排气系统（低真空模式）：DP×1，RP×2

2、适用范围

适用于对平整干燥的固体样品进行微观形貌分析检测。

3  检测步骤

     3.1 试样的制备

     样品应该是化学上和物理上稳定的干燥固体，表面清洁，在真空中及在电子束轰击下不挥发或变形，无放射性和腐蚀性。

     样品最好导电，导电性差或不导电的样品可在表面进行导电处理（喷镀Au、Pt或C等导电膜）或在低加速电压和低真空模式下观察。

     3.2 检测条件

检测温度20℃±5℃，相对湿度不超过75%的环境下进行。

需要无腐蚀性气体及少粉尘的室内环境。

3.3 仪器准备

抽气以使样品室达到工作真空状态。检查灯丝对中和灯丝电流，不符合要求时，及时调整。

3.4 操作步骤

样品的安装，将被测样品固定在扫描电镜的样品台，样品的安装要牢固，并贴附导电胶。抽气以使样品室达到工作真空状态。通过聚焦按钮，使图像准确正焦。选取合适的放大倍数。显示屏上样品的放大的图像中，被测的长度应尽可能大一些，但不要超过视场的五分之四，由像素产生的不确定度，应可以忽略不计。获取被测样品的二次电子像。通过平移和旋转将被测样品图像平移到视场的中部拍图，如果有需要可以做相应的测量（如果由于电流漂移而失焦，可以微调聚焦）。

4、结果表述

样品图像和形貌分析结果以照片的形式提供，存档，并标记好日期和样品的性质。

5、相关标准

JY/T 0584-2020 《扫描电子显微镜分析方法通则》